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El clorosilano se puede utilizar para la síntesis orgánica, la fabricación de cortinas de humo, el gas estimulador de campo de batalla, la materia prima de silicio monocristalino, fibra óptica, Epitaxia, grabado, deposición química de vapor.

clorosilano es un líquido incoloro, transparente y venenoso con olor a aliento a temperatura ambiente y presión atmosférica.Emite vapor tóxico y tiene estabilidad térmica.No puede arder en el aire.Puede reaccionar con oxígeno en el aire por encima de 400℃ para formar sio2.Cuando se hidroliza en el aire húmedo, las partículas sólidas de vapor se forman junto con el humo.Reacciona violentamente con agua para formar ácido silícico y ácido clorhídrico.Puede reaccionar con muchos óxidos metálicos para formar cloruros.Reacciona con amoníaco para formar tetramina de silicio y producir humo.El clorosilano orgánico se puede formar reaccionando con el reactivo de Gliese.Reacciona con alcohol para formar silicatos.Es corrosivo y puede corroer aluminio y latón.La toxicidad del clorosilano

es principalmente irritante y corrosiva.Irrita y erosiona la piel, los ojos y las membranas mucosas respiratorias, causando lágrimas, tos, conjuntivitis, inflamación del tracto respiratorio superior, inflamación de la tráquea, bronquios y pulmones.Puede corroer y destruir las células.